
晶圓切割研磨液
MORESCO 晶圓切割, 研磨, 線鋸, 鑽石線鋸
半導體晶圓與太陽能電池晶圓的製造過程中,精密的切割(Slicing)與研磨(Lapping)步驟是決定最終產品品質的關鍵。MORESCO GRINDING STAR 系列產品提供專為這些複雜工序設計的專業液體,確保卓越的加工性能、穩定性與環保安全性。
高性能半導體晶圓切割與研磨加工用油
晶圓在製造過程中需經歷多道精密製程,包括切片(Slicing)、研磨(Lapping)、蝕刻(Etching)、拋光(Polishing)與清洗(Cleaning)。
海陸家赫針對前段製程提供高效能的切削與研磨液體解決方案,協助客戶達到高精度表面品質與穩定製程控制。
製程用液體介紹
1. 晶圓切割專用液體(Slicing)
對應產品:GL-10、GL-10P、LW-10、SW-30
針對線鋸(Wire-saw)切割工藝,我們提供多種高效能液體,用於半導體晶圓與太陽能電池晶圓切割。
● GL-10、GL-10P:乙二醇型(Glycol Type),不須稀釋使用,穩定的切割性能與優異的表面表現。
● LW-10:油性型(Oil-based Type),專為半導體切割開發,磨粒分散與附著性優異,再分散性佳。
● SW-30:水溶性型(Water Soluble Type),適用於鑽石線鋸(Diamond Wire-saw),清潔性佳。
2. 晶圓研磨專用液體(Lapping)
對應產品:LP-40、LP-50
在晶圓研磨過程中,穩定的研磨液選擇是達到高平整度與鏡面效果的關鍵。
● LP-40:無硼型(Boron Free)水溶性液體,研磨面品質穩定、磨料分散效果優異。
● LP-50:含有機鹽的防鏽研磨液,兼具良好分散與防鏽品質。
製程/線鋸型式 x 選型對照表
晶圓製造依序經過切片(Slicing)、研磨(Lapping)、蝕刻、拋光與清洗。
GRINDING STAR 系列產品對應前兩段:切片用的線鋸切割液,以及研磨用的研磨液。兩段製程對液體的要求不同,切割液重視碎屑排除與黏度穩定,研磨液重視磨料分散與工件防鏽。
| 製程/線鋸型式 | 對應產品 | 液體型式 | 使用濃度 | 選型重點 |
|---|---|---|---|---|
| 砂漿線鋸切片 | GL-10 | 乙二醇型 | 不須稀釋 | 系列標準型,切割穩定、可抑制磨粒結塊 |
| 砂漿線鋸切片 | GL-10P | 乙二醇型 | 不須稀釋 | 規格與 GL-10 相同,但廢水的 COD 較低(700 對 1,000),後端處理負擔較小 |
| 線鋸切片 | LW-10 | 油性型 | 不須稀釋 | 磨粒不易沉澱、附著性最佳 |
| 鑽石線鋸切片 | SW-30 | 水溶性型 | 2% | 矽屑絮凝、易以離心與過濾分離;低氣味、消泡性佳 |
| Lapping 研磨 | LP-40 | 水溶性・無硼 | 稀釋後使用 | 無硼配方。鑄鐵板、鋅板佳;鋁板、銅板適用 |
| Lapping 研磨 | LP-50 | 水溶性・有機鹽 | 稀釋後使用 | 鑄鐵板、鋼板防鏽最佳;鋁銅板建議改用 LP-40 |
型式與數值取自日本 MORESCO 原廠 TDS,實際依批次與使用條件而異。完整規格(密度、黏度、閃火點、pH、表面張力等)請見下方各產品頁與所附原廠 TDS。
選型三步驟
- 確認線鋸型式:砂漿線鋸與鑽石線鋸的液體角色完全不同,先確認機台型式再選擇產品。
- 確認製程段別與盤材:切片段看線鋸型式,研磨段看研磨盤是鑄鐵、鋼板還是鋁銅板,兩者決定的產品不一樣。
- 安排樣品測試:這個系列屬於特殊規格品,您如果有導入計劃,我們可以提前協助安排樣品測試。
常見問題(FAQ)
Q1: 鑽石線鋸和砂漿線鋸要用不同的切割液嗎?
是。砂漿線鋸切割常搭配乙二醇型液體作為研磨漿載體,鑽石線鋸則多採水溶性型切割液,重點在冷卻、清潔與碎屑排除。請提供線鋸型式與切割材料,我們協助確認適合的液體型式並安排樣品測試。
Q2: 晶圓切割研磨液有台灣現貨嗎?交期多久?
這個系列屬於特殊規格品,您如果有導入計劃,我們可以提前協助安排樣品測試。
Q3: 研磨(Lapping)用的液體和切割液可以共用嗎?
不建議。研磨液的重點是研磨料分散穩定與工件防鏽,切割液的重點是線鋸冷卻與碎屑排除,配方設計不同。請告訴我們製程段別與研磨料種類,我們協助評估。
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最後更新時間:2026-09-22|海陸家赫 編製
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