晶圆切割研磨液
MORESCO 晶圆切割, 研磨, 线锯, 钻石线锯
半导体晶圆与太阳能电池晶圆的制造过程中,精密的切割(Slicing)与研磨(Lapping)步骤是决定最终产品品质的关键。 MORESCO GRINDING STAR 系列产品提供专为这些复杂工序设计的专业液体,确保卓越的加工性能、稳定性与环保安全性。
高性能半导体晶圆切割与研磨加工用油
晶圆在制造过程中需经历多道精密制程,包括切片(Slicing)、研磨(Lapping)、蚀刻(Etching)、抛光(Polishing)与清洗(Cleaning)。
海陸家赫针对前段制程提供高效能的切削与研磨液体解决方案,协助客户达到高精度表面品质与稳定制程控制。
制程用液体介绍
1. 晶圆切割专用液体(Slicing)
对应产品:GL-10、GL-10P、LW-10、SW-30
针对线锯(Wire-saw)切割工艺,我们提供多种高效能液体,用于半导体晶圆与太阳能电池晶圆切割。
● GL-10、GL-10P:乙二醇型(Glycol Type),不须稀释使用,稳定的切割性能与优异的表面表现。
● LW-10:油性型(Oil-based Type),专为半导体切割开发,磨粒分散与附着性优异,再分散性佳。
● SW-30:水溶性型(Water Soluble Type),适用于钻石线锯(Diamond Wire-saw),清洁性佳。
2. 晶圆研磨专用液体(Lapping)
对应产品:LP-40、LP-50
在晶圆研磨过程中,稳定的研磨液选择是达到高平整度与镜面效果的关键。
● LP-40:无硼型(Boron Free)水溶性液体,研磨面品质稳定、磨料分散效果优异。
● LP-50:含有机盐的防锈研磨液,兼具良好分散与防锈品质。
制程/线锯型式x 选型对照表
晶圆制造依序经过切片(Slicing)、研磨(Lapping)、蚀刻、抛光与清洗。
GRINDING STAR 系列产品对应前两段:切片用的线锯切割液,以及研磨用的研磨液。两段制程对液体的要求不同,切割液重视碎屑排除与黏度稳定,研磨液重视磨料分散与工件防锈。
| 制程/线锯型式 | 对应产品 | 液体型式 | 使用浓度 | 选型重点 |
|---|---|---|---|---|
| 砂浆线锯切片 | GL-10 | 乙二醇型 | 不须稀释 | 系列标准型,切割稳定、可抑制磨粒结块 |
| 砂浆线锯切片 | GL-10P | 乙二醇型 | 不须稀释 | 规格与GL-10 相同,但废水的COD 较低(700 对1,000),后端处理负担较小 |
| 线锯切片 | LW-10 | 油性型 | 不须稀释 | 磨粒不易沉淀、附着性最佳 |
| 钻石线锯切片 | SW-30 | 水溶性型 | 2% | 矽屑絮凝、易以离心与过滤分离;低气味、消泡性佳 |
| Lapping 研磨 | LP-40 | 水溶性・无硼 | 稀释后使用 | 无硼配方。铸铁板、锌板佳;铝板、铜板适用 |
| Lapping 研磨 | LP-50 | 水溶性・有机盐 | 稀释后使用 | 铸铁板、钢板防锈最佳;铝铜板建议改用LP-40 |
型式与数值取自日本MORESCO 原厂TDS,实际依批次与使用条件而异。完整规格(密度、黏度、闪火点、pH、表面张力等)请见下方各产品页与所附原厂TDS。
选型三步骤
- 确认线锯型式:砂浆线锯与钻石线锯的液体角色完全不同,先确认机台型式再选择产品。
- 确认制程段别与盘材:切片段看线锯型式,研磨段看研磨盘是铸铁、钢板还是铝铜板,两者决定的产品不一样。
- 安排样品测试:这个系列属于特殊规格品,您如果有导入计划,我们可以提前协助安排样品测试。
常见问题(FAQ)
Q1: 钻石线锯和砂浆线锯要用不同的切割液吗?
是。砂浆线锯切割常搭配乙二醇型液体作为研磨浆载体,钻石线锯则多采水溶性型切割液,重点在冷却、清洁与碎屑排除。请提供线锯型式与切割材料,我们协助确认适合的液体型式并安排样品测试。
Q2: 晶圆切割研磨液有台湾现货吗?交期多久?
这个系列属于特殊规格品,您如果有导入计划,我们可以提前协助安排样品测试。
Q3: 研磨(Lapping)用的液体和切割液可以共用吗?
不建议。研磨液的重点是研磨料分散稳定与工件防锈,切割液的重点是线锯冷却与碎屑排除,配方设计不同。请告诉我们制程段别与研磨料种类,我们协助评估。
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海陸家赫为值得信赖的台湾金属加工切削油、工业润滑油制造商,提供标准型与客制化的工业润滑油品。通过ISO 9001:2015 认证,并提供完整的技术支援,以及SDS、TDS 与产品相关认证文件,确保您的工具与设备运作顺畅并符合相关规范。
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最后更新时间:2026-09-22|海陸家赫编制
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