Сравнение между MDAC и традиционными методами резки

1. Эффективность резки

Проводная абразивная проволочная пила (FAWS) полагается на механическое шлифование между абразивными частицами и заготовкой. Ее скорость резки ограничена, особенно при работе с твердыми материалами, такими как кварц и кремниевые пластины.

Электроэрозионная проволочная обработка (WEDM) использует высокотемпературные электрические разряды для плавления и испарения материала. Хотя она быстрее, она создает большую зону термического воздействия (HAZ), которая может изменить микроструктуру материала.

Микро-разрядное абразивное резание (MDAC) сочетает в себе механизмы электрического разряда и абразивного шлифования. Регулируя энергию разряда и размер абразивных частиц, MDAC может значительно повысить скорость удаления материала, особенно для материалов с высокой твердостью.

2. Качество поверхности и контроль повреждений

FAWS часто оставляет глубокие царапины на поверхности, вызывая трещины и сколы на краях в кварце и кремнии.

WEDM приводит к образованию расплавленных поверхностных слоев из-за тепловых эффектов, что снижает механическую целостность и увеличивает требования к последующей обработке.

MDAC позволяет точно контролировать параметры разряда, эффективно уменьшая подповерхностные повреждения и остаточные напряжения, улучшая при этом качество поверхности — что делает его идеальным для обработки кварцевых и кремниевых пластин.

3. Износ инструмента и стоимость обработки

Инструменты FAWS из проволоки со временем изнашиваются, что приводит к снижению точности и увеличению материальных затрат.

WEDM не использует традиционные инструменты, но требует частой замены электрода проволоки, с более высоким потреблением энергии.

MDAC, с оптимизированной энергией разряда, минимизирует абразивный износ и продлевает срок службы проволочного пилы, снижая общие затраты на обработку. Он особенно подходит для прецизионной обработки твердых материалов, таких как кварц.

Применение MDAC в полупроводниковой и прецизионной обработке

MDAC демонстрирует огромный потенциал в прецизионной обработке, особенно для кремниевых пластин, кварцевых подложек и других материалов с высокой твердостью. Кварц не только твердый, но также обладает отличной термической стабильностью и низким коэффициентом теплового расширения, что делает его важным в высокоточной оптике и электронных компонентах.

Однако традиционные методы не справляются с жесткими требованиями к точности и минимальному повреждению. MDAC улучшает взаимодействие между механизмами разряда и абразивными механизмами, повышая точность резки для удовлетворения высоких требований отрасли. Эта технология также применима в областях микрообработки, таких как производство MEMS-устройств и обработка оптических компонентов.

Технология MDAC как превосходное решение для резки материалов с высокой твердостью

Микро-разрядная абразивная резка (MDAC) сочетает разряд и механическую шлифовку, чтобы значительно улучшить эффективность резки при снижении повреждений поверхности и потребления энергии. По сравнению с FAWS и WEDM, MDAC обеспечивает превосходные характеристики обработки, особенно для таких материалов, как монокристаллический кремний и кварц. Она имеет большие перспективы в полупроводниковой, оптической и прецизионной обработке.

Будущие исследования будут сосредоточены на оптимизации энергии разряда и распределения абразива для дальнейшего повышения точности обработки и стабильности. С учетом растущих требований к передовым решениям в обработке полупроводников и материалов с высокой твердостью, MDAC готова стать ведущей технологией в этой области.

◆ Источник: ScienceDirect

◆ Ссылка: https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2024.11.208